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层流罩是一种可提供局部高洁净度的空气净化单元。可灵活地安置在需要洁净度的工艺点上方,以符合局部工艺点需要高洁净度的环境要求。吊装式洁净层流罩可单个使用,也可多个联接组成带状洁净区域。洁净层流罩与土建式或装配式百级洁净室相比,具有投资省,上马快,对厂房土建要求低。安装简便,运转费用低等优点。
洁净屋流罩是将空气以一定的风压通过高效空气过滤器后,由于阻力层均压,使洁净空气呈垂直单向流气流形式送入工作区,从而保证了工作区内达到工艺要求的洁净度。
1、洁净度:工作区内≥0.5μm粒径的尘埃≤3.5/升(FS209E 100级)
2、平均风速:0.3~0.6m/s
3、噪音:65dB(A)
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